第866章
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万千的目光再一次刷地射向了山上一郎。 但他毫不在乎。 一个天才的设计方案？就能把arf193nm的波长变成134nm？ 闹着玩呢这是？ 台上，苏远山也在看着山上一郎，他知道这位老兄进尼康就在磨玻璃，对光源系统极为熟悉——反正苏远山在光学领域，在对方面前就是小学生级别。 但苏远山毫不在乎，也很能理解山上一郎为什么会在这种场合失态。 别说现在猛地听到远芯保密了三四年的技术，就算是历史上，当林本坚拿着详细的论证找上门的时候，尼康佳能都没正眼看人家一眼，并认为这家伙纯粹就是个疯子，让台积电好好管一管，找点药给他吃。 也就是asml当时人小势微，虽然被intel拉着进了euv联盟画了大饼，但在市场上，依旧不敌霓国人，必须弯道超车才能赢得了的样子……所以最终才选择了信任林本坚。 但苏远山也并没有回答山上一郎。 因为他看到，和山上一郎只隔着一个作为的李明柳已经看了过去。 “immersion。”李明柳身子前倾了一点，把自己暴露在了山上一郎的视线中，并给出了个英文单词。 “什么？”听到声音，山上一郎瞬间转头望向李明柳。 “immersion，浸润式光刻。”在远芯诸多技术大佬中，李明柳向来以严肃著称，常年执掌远芯第二大研发基地的他如今身上早就多了几分所谓的“威严”，凡事喜欢点到为止，不想说过多。 惜字如金的两句后，李明柳便恢复了坐姿。 台上，苏远山也只是一笑：“消息我是带到了，信不信那就……好吧，其实我是相信的。” 说完后，苏远山离开讲台，对台下微微鞠躬，然后退场。 直到这时，就如同一盆冰水上丢了一坨烧红的铁块，整个会场瞬间便沸腾了起来。 ——和霓国人不一样，国内半导体行业对苏远山有着近似迷信一般的信赖，在先前短暂的懵懂状态后，此刻立刻陷入了兴奋和激动中，会场刹那间便变成了菜市场。 李明柳的声音说得并不大，靠后的与会人员并不能听清，但不妨碍他们挨个拍着前排的肩膀一路问下来。 在一片嘈杂中，山上一郎重新坐了下来。 他脑子慢慢恢复了清醒。 他理智上无法接受，但理智又告诉他，这……极有可能是真的。 因为苏远山，没有必要在这个时候这个场合来骗人。 ——因为一旦被证实是假消息，那么非但是苏远山个人的声誉，宏芯的声誉，乃至整个内地半导体行业的声誉，都将受到毁灭性的倒塌。 浸润式光刻？ 难道放水里？ 疯了吧！ 这时，苏远山的声音透过几个座位慢慢传来。 “通过在镜头与衬底之间加入于玻璃折射率接近的水，减小物镜射出的光折射角，从而提升物镜的孔径，提高分辨率。根据cd=k1*λ/na，用水替代空气后，就相当于193nm波长等效缩短到134nm。” “而且……它不需要重新研制光刻胶。” 苏远山看着在自己身旁围成一圈的众人，嘴角微微一翘。 “具体的技术和消息，还请大家关注宏芯的相关发布会。” …… 五个小时后，宏芯以浸润式光刻技术攻克193nm光源的消息瞬间传遍了整个半导体行业。 相比行业消息的传播速度，新闻向来要晚一步，但也是在第二天晚上，新闻联播也正式公布了世界上最先进的光刻机诞生在国内，并成功通过专家组验收的消息。 一时间，宏芯的大门被数不清的媒体踏破，采访的同时，这些媒体也纷纷担起了科普责任，在各个渠道为民众普及起了什么叫光刻机，什么叫晶圆厂，一颗中央处理器又是怎么来的…… 至于苏远山，则拒绝了所有的采访邀请，并在半导体峰会结束的第二天便启程前往了硅谷。 浸润式光刻的荣耀就留给该享受荣耀的人好了。 * * 硅谷，山间别墅。 卡莉风风火火地走进大门，她丝毫不介意苏远山哈欠连天，甚至还穿着拖鞋。便一屁股坐在他的对面，盯着苏远山布满血丝的眼睛问：“boss，是真的吗？” 苏远山忍了个哈欠，微笑道：“你就算不相信我们的媒体，你也要相信我啊……马上我们就能拿出65nm的制程工艺，到时候还能造假不成？” “……”卡莉一阵无语。 她当然愿意相信苏远山，但她问苏远山，并不是不相信的问题，而是……她觉得太不可思议。 “怎么办到的？林本坚的团队是主要团队吗？” “是，但怎么办到的……我还真不知道。他们研发了三年，攻克了数百个技术节点，嗯……也花了不少钱。” “量产呢？”卡莉马上问道了关键。 “大概明年就能推出量产型号。”苏远山知道卡莉想问什么，他微微一笑道：“卡莉，我不知道你对晶圆厂那一套技术了解多少……但我可以告诉你，根据目前的推测，浸润式光刻技术的极限甚至可以到7nm线宽——如果euv无法被攻克，那么在未来很长一段时间内，如何依靠工艺来降低制程，就是晶圆厂的最主要任务。” “可以到7nm？” “嗯，多重曝光就行。” 顿了顿，苏远山正色道：“卡莉，你一定要有一个清醒的认识，论制程推进，再没有任何人比德远更有实力和魄力。” 卡莉抿了抿嘴，她倒是很想反驳一下……最后发现什么都反驳不了。 因为这是事实。 她是亲自参与了at&t与华晶的晶圆厂设备出售一案——而那时，德远还只是工地！ 可现在才几年？德远便从0.5微米一路追赶到0.35，0.25，0.13……其速度之快，堪称奇迹。 几秒的冷场，便让苏远山终于忍不住了，他捂着嘴，打了个哈欠。 “卡莉，你看看帮我约一下桑德斯老爷子。” 卡莉回过神来，略一思索便点头，随后问道：“三顾茅庐，这是你的最后一顾？” “哈哈，是的。对了，最好约到发布会之后，我这两天得好好休息一下才行。” “说起来，桑德斯老爷子也确实该退休了。” 苏远山一边伸着懒腰，一边笑道。